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UV400 GaN基外延片測溫儀用于GaN基外延的晶圓表面溫度和反射率真實(shí)測量，溫度范圍650…1300℃

Advanced Energy®的 OR4000E多通道光纖測溫儀(OFT)能夠自動(dòng)探測測量材料發(fā)射率，可用于RTP、HDP-CVD、MOCVDUV固化和其它各種半導體工藝過(guò)程。OR4000E型具有類(lèi)似OR4000T的高速性能，并且兼具實(shí)時(shí)輻射率補償的優(yōu)點(diǎn)。其采用塊化設計，可快速量身定制，滿(mǎn)足不同的的工藝應用要求。

Sekidenko OR4000T 高溫計 Advanced Energy®的 OR4000T多通道光纖測溫儀(OFT)可用于RTP、HDP-CVD、MOCVD、UV固化和其它各種半導體工藝過(guò)程，應用于半導體硅片，外延，晶圓鍍膜等各種工藝的高精度測溫;OR4000T型具備多通道能力，支持高達2kHz的讀取速率，符合半導體應用中極為嚴格的要求。 其采用模塊化設計，可快速量身定制。

Advanced Energy®的 OR400M光學(xué)高溫計將Sekidenko產(chǎn)品系列的應用范圍擴展至3.3um-5.2um的中紅外波長(cháng)范圍。OR400M可進(jìn)行單通溫度測量，用于半導體設備的高精密溫度測量，用于硅片，腔室的精確測溫。OR400M支持RS-232和模擬數據接口。OR400M設計緊湊，易于集成，可滿(mǎn)足許多工藝應用的要求。