您好，歡迎光臨上海明策電子科技有限公司
服務(wù)熱線(xiàn)：18917639396
描述：Advanced Energy®的 OR4000E多通道光纖測溫儀(OFT)能夠自動(dòng)探測測量材料發(fā)射率，可用于RTP、HDP-CVD、MOCVDUV固化和其它各種半導體工藝過(guò)程。OR4000E型具有類(lèi)似OR4000T的高速性能，并且兼具實(shí)時(shí)輻射率補償的優(yōu)點(diǎn)。其采用塊化設計，可快速量身定制，滿(mǎn)足不同的的工藝應用要求。
| 品牌 | Advanced Energy/優(yōu)儀 | 價(jià)格區間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應用領(lǐng)域 | 電子,交通,汽車(chē),電氣,綜合 |
優(yōu)點(diǎn):
提高可重復性并顯著(zhù)減小誤差
提高生產(chǎn)率、產(chǎn)量和生產(chǎn)能力
提高多個(gè)腔室和基材的穩定性和可靠性
特點(diǎn):
·主動(dòng)輻射率檢測和補償
溫度和輻射率讀取速率快
·模塊化的結構具有高靈活性
·全套I/O和外部觸發(fā)器/同步組件
技術(shù)參數：
| 概述: | 實(shí)時(shí)，雙通道，在測量過(guò)程中能實(shí)時(shí)測量材料發(fā)射系數并糾正，補償測量溫度，測量速度高達2kHz |
| 通道配置: | 1-2通道，透過(guò)脈沖發(fā)射器實(shí)時(shí)糾正發(fā)射系數，每個(gè)通道可單獨配置 |
| 測溫范圍: | 50-3500°C |
| 實(shí)時(shí)發(fā)射系數范圍: | 0.03 至 1.0 |
| 測量波長(cháng): | UV to 2300 nm |
| 讀取速率: | 高達2kHz,在實(shí)時(shí)發(fā)射系數自糾正溫度測量模式下可達500Hz |
| 測量精度: | ±1.5℃ |
| 重復精度: | ±0.1℃℃，正常情況下 |
| 分辨率: | 0.001°C |
| 顯示: | 內置，4x20LCD屏，帶鍵盤(pán)輸入 |
| 數據I/O: | RS-232,RS-422/485,and Etherne |
| 模擬輸出: | t0-10V或4-20mA |
| 控制接口: | 外部觸發(fā)輸入，同步輸出，高低報警 |
| 電源: | 交流:90 to 263 VAC, 47 to 63 Hz直流:24V DC |
| 環(huán)境參數: | 5-40℃，非冷凝 |
| 物理尺寸: | 8.6 cm (H)x15.2 cm ()x 21.8 cm(D) |
| 重量: | 2.0kg |
| 安裝: | 底部M3 X0.75螺孔 |
| 采樣響應時(shí)間: | 2kHz采樣速率時(shí)<2ms |
電話(huà)
微信掃一掃